采用物理气相沉积PVD工艺应注意的事项

用物理气相沉积PVD工艺应注意以下事项：

1、蒸发物质难以沉积到形状复杂的凹槽、窄沟及小孔处，绕镀性差，因此PVD法不适合于小孔、凹槽等复杂形状的模具。

2、若在基体表面上有氧化、腐蚀等变质层，将得不到结合力良好的涂层，因此工件必须有洁净的表面。

3、沉积温度在200℃左右形成的涂层非常脆弱，结合力很差而不耐用，因此为了形成牢固的涂层，必须使沉积温度在360℃以上。

4、在正常处理条件下，涂层结合力还与基体材料强度有关，如果在低压强滑动条件下工作，要求提高耐磨性、耐烧伤性和脱模性，基体硬度为30HRC已足够；而工作压强达到500MPa时，基体材料硬度需提高到50HRC.

    在模具钢材表面 沉积一层TiN薄膜后具有高的硬度和耐磨性、较小的摩擦因数，较好的抗黏着性和抗咬合性，模具寿命可明显提高。在冲孔模上进行TiN涂层处理，冲头的寿命可提高5倍；对3Cr2W8V钢模具处理后寿命可提高3~4倍；Cr12MoV钢（日本大同模具钢SKD10）精冲模经PVD法处理可获得3~5μm涂层，其寿命从1万~3万次可提高到10万次以上。